真空加熱淬火近20年來發展迅速，一定規模的專業工具廠都相繼建立了真空車間，經真空加熱處理的產品數量及品咱逐漸擴大。與鹽浴爐相比，它有以下優點：

1）完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質層的清潔表面。這時對那些在刃磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口）切削性能的改善關系極大。

2）對環境無污染，不需進行三廢處理。

3）爐溫測定、監控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫差達到±1.5℃。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環，仍可控制在±5℃溫差范圍內。

4）機電一體化程度高。在溫度測控精度提高的基礎上，工件移動、氣壓調節、功率調節等均可預先編程設定，按步驟實施淬火和回火。尤其是現代高壓和超高壓氣冷淬火單室式真空淬（回）火爐，可將大批工件從預熱開始直接淬火、回火過程在爐中全部完成，中間不必移動工件。

5）能耗顯著低于鹽浴爐�，F代先進的真空爐加熱室采用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果顯著。據文獻[3]報道，真空爐的熱效率（有效）達90%，而普通熱處理爐僅為40%～50%，鹽浴爐的熱效率更低。此外，與鹽浴爐、保護氣氛爐相比，真空爐不消耗物質（鹽、氣及其他輔料）資源。

采用真空爐淬火的主要缺點是介質與工件的熱交換效率不高，而且不易實現分級加熱和高溫短時間保溫。為提高單臺爐子的生產率，只能采用增加裝爐量的辦法。如一般生產應用的真空淬火爐，每爐進料工件重量為50～500kg，加上料筐的蓄熱，故加熱速度緩慢，均熱時間長。

由于在環保、節能及淬火溫度控制方面的明顯優勢，在國外，首先是一些重視環保的發達國家，近20年來，不斷壓縮鹽浴的應用量，以真空爐代之，據有關報道指出，鹽浴爐的處理量已不足總量的10%。