貝氏體等溫淬火是將工件加熱奧氏體化后，在下貝氏體轉變溫度區間（400~260℃）保溫，是奧氏體轉變為下貝氏體為主的組織的淬火工藝。

由于等溫淬火時下貝氏體轉變的不完全性，故在空冷至室溫后往往獲得下貝氏體為主，兼有相當數量的淬火馬氏體與殘余奧氏體的混合組織，所以等溫淬火后需進行回火。回火溫度低于等溫溫度，使殘余奧氏體轉變為下貝氏體或回火馬氏體，其中淬火馬氏體亦轉變為回火馬氏體。