(1)溫度

漸度越高，原子的能量越大，越易發生遷移，擴散系數越大，擴散越快。

（2）固溶體類型

不同類型的固溶體，原子擴散機構不同，溶質原子的擴散激活能不同，間隙固溶體中溶質原子的擴散激活能一般都比置換固溶體中的小，所以擴散速度較大。

（3）晶體結構

總的來說，致密度越小的晶體結構，原子的擴散激活能越小，原子越易于遷移，擴散系數越大，擴散速度越快。某些晶體結構原子的擴散還具有各向異性。

（4）晶體缺陷

由于金屬外表面、晶界、亞晶界處晶格不同程度地產生畸變，能量比晶粒內部高，擴散激活能都較晶內小。并且由于以上所述各方面擴散激活能依次增高，因而表面擴散最快，晶界次之，亞晶界更次之，晶內最慢。位錯線是晶格畸變的“管道”，原子沿這些“管道”擴散較晶內容易，因而在位錯、空位等缺陷處的原子較完整晶格處的原子擴散速度快。晶體中點缺陷的數量越多，擴散越容易。

必須指出，對于間隙型原子的擴散，空位與位錯的作用尚無定論。近年來苛些研究認為，間隙原子跳進位錯或空位中，相當于落入陷阱而使其擴散激活能增大，不利于進一步遷移。

（5）化學成分

在金屬或合金中加入第二或第三元素時，有的可能加速擴散，有的則會減慢擴散，情況比較復雜，目前尚缺乏完整為通的理論，經對部分合金系統的成分與擴散系數間關系的研究，總結出以下規律：

①當加入合金元素使合金的熔點或液相線漸度降低時，會使合金的擴散系數增加；反之則使擴散系數降低。

②形成碳化物的元素，如W、Mo、Cr能強烈阻止碳的擴散，降低碳的擴散系數，不形成碳化物而溶于固體中的元素，如Co、Ni等（Si倒外）能提高碳的擴散系數。