通常，在滲硼前要進行預備熱處理。它的作用主要是改善零件的切削加工性和減少滲硼后熱處理時的變形量。調質鋼最適于做滲硼零件。調質鋼滲硼前一般采用正火或調質處理。正火后，細片狀的索氏體組織在加熱時，滲碳體片溶解得快，減小了硼原子向內擴散的阻力，使滲硼速度加快。調質組織的滲面體呈顆粒狀均勻分布，相界面少，過熱傾向小，滲硼后淬火時的變形和開裂傾向也小。

對于工具鋼，一般采用球化退火工藝，如果供應狀態的鋼已經適當熱處理，就可不必再進行預備熱處理。零件滲硼后要否熱處理，應視具體要求而定。如果對心部強度要求不高，鹽浴滲硼的零件經空冷，粉末滲硼的零件待滲箱出爐后降溫到600℃以下，打箱取出零件空冷即可直接使用。

對那些要求心部有一定強度，以加強對滲硼層以承能力，充分發揮其耐磨砂性的零件，滲硼后應進行淬火、回火處理。但應避免采用過高的加熱溫度和強烈的淬火介質或對硼化物有腐蝕作用的介質（如堿浴）。這是為了盡可能減小變形，防止滲硼層崩落和產生裂紋等。

滲硼后一般采用直接淬火。固體滲硼時也可以采用二次加熱淬火。但要注意，鹽浴滲硼后立即淬火時，最好在中性鹽浴中預冷和熔融滲硼鹽中預冷。二次淬火時應在保護氣氛或中性鹽浴中加熱，以防脫硼和氧化。保溫時間不宜長，有可能時盡量選用分級或等溫淬火工藝方法。

回火溫度應根據滲硼件實際服役時的失效形式來決定。如系脆斷失效，要適當提高回火溫度，如系數剝落失效，要相就降低回火溫度。一般來說，應高于低溫回火溫度，控制心部硬度數HRC45～50左右為宜。