對電火花加工表面粗糙影響最大的是單個脈沖能量，其次是加工面積、工件材料、電極材料和排屑狀況的影響。簡述如下。

（1）脈沖能量對表面粗糙度的影響  從電火花放電加工過程看，因為脈沖能量在，每次放電的蝕除量也大，放電凹坑既大又深，從而使表面粗糙度惡化。表面粗糙度和脈沖能量之間的關系，可用如下實驗公式來表示：

R_max=K_R t ^0.3_e I ^0.4_e

式中  R_max——實測的表面粗糙度，μm，通常R_e1μm≈R_max=（6～8）μm；

    K_R——常數，鋼加工鋼時常取2.3；

    t_e——脈沖放電時間，μs；

    I_e——峰值電流，A。

從公式可見，影響表面粗糙度的因素主要是脈沖寬度t_e與峰值電流I_e的乘積，即單個脈沖能量的大小。峰值電流一定值時，隨著脈沖寬度增加，表面粗糙度急速下降，當脈沖寬度為2μs時表面粗糙度R_a值為0.5μm，脈沖寬度為1000μs時表面粗糙度R_a值趨于12.5μm。當脈沖寬度一定值時，隨著峰值電流的增加，表面粗糙度也變差，當峰值電流為10A時表面粗糙度R_a值為1.6μm，峰值電流為40A時表面粗糙度R_a值趨于25μm。因此，在實際生產過程中，要想獲得高質量的加工表面，一是在減少峰值電流的同是減小脈沖寬度；二是在維持脈沖寬度時，盡量減小峰值電流。既矛盾又統一，改變上述兩項電參數才能達到降低脈沖能量，提高加工表面質量的目的。

（2）加工面積以表面粗糙度的影響  從生產實踐中發現，即使單脈沖能量很小，但在電極面積相對較大時，R_a值也很難低于0.3μm，而且加工面積越大，可達到的最佳表面粗糙度越差。這是因為在工作液中的工具電極和工件相當于在放電間隙上并聯的一個電容器，當小能量的單個脈沖到達工具電極和工件時，電能被此電容吸收，只能起充電作用而不會引起火花放電。只有經多個脈沖充電到較高的電壓，積累了較多的電能后，才能引起擊穿放電，加工出較大的放電凹坑。

另外，電火花加工的表面粗糙和加工速度之間存在著很大矛盾，例如從R_a2.5μm提高到R_a1.25μm,加工速度要下降到原來的百分之幾。按目前的工藝水平，較大面積的電火花形成加工要達到R_a0.3μm是比較困難的，但是采用平動或搖動的工藝可以達到。目前，電火花穿孔加工側面的最佳表面粗糙為R_a1.25μm～0.32μm，電火花形成加工平動或搖動后最佳表面粗糙度為R_a0.63μm。要想達到R_a0.05μm的表面，通常是在很小的面積上（如10mm的圓表面），而且采用特殊的光整加工方法，其表面粗糙度可達到R_a0.1μm～0.05μm，這時加工速度比較低，而且加工面積很小。因此，實際生產中一般比較常用的辦法是，采用電火花加工到R_a2.5～0.63μm之間再用其他研磨拋光方法，改善提高電火花加工的表面粗糙度。

（3）工件材料對表粗糙度的影響  對于一般的工具鋼、合金鋼的工件，當選用相同的加工規準時，其加工表面粗糙度沒有多大差異。但選用熔點高的工件材料（如硬質合金、鎢鋼等），在相同脈沖能量下加工的表面粗糙度要比熔點的工件材料好。當然加工速度會相應下降，電極損耗會加大。

（4）電極材料對表面粗糙的影響  在電火花加工過程中，選用粗加工時，當加工面積大，加工深度又深的工件時，因工具電極長時間承受較高的脈沖能量，很容易產生熱疲勞損壞，在電極表同形成魚鱗狀的裂紋，或電極表面出現剝落現象，其電極表面狀況都會反映到工件上，造成工件底面或側壁表面粗糙度變粗。因此，在加工大型工件型腔時，常選用耐疲勞抗電流沖擊的石墨電極材料作為粗加工應用。在精加工時，工具電極的表面粗糙度也將影響到工件表面粗糙度。由于石墨電極很難加工到非常光滑的表面，因此用石墨電有的加工表面粗糙度相對較差。所以在加工中小型腔時，又常用純銅電極材料來提高表面粗糙度。

（5）排屑狀況對表面焅糙度的影響  當電蝕產物排屑、排氣狀況不好時，往往使加工面的某個部位放電脈沖能量集中，造成凹坑過大，出現波紋起伏不平整，如果出現異常的電弧放電，還會造成燒傷加工表面，使表面粗糙度變差，嚴重的甚至使工件報廢。因此，在電火花加工過程中，應該保持加工區域的清潔，不積屑、不存氣，加強工作液的循環過濾，采用沖液、抽液的方式促使電蝕產物的排除。有條件的采取適應抬刀、定時抬刀或快速抬刀，協助排屑。或者采用平動、搖動的方法，進行擠壓式的排屑、排氣。如果是拉弧燒傷腐蝕工作，就只能采用人工清理的辦法，將燒傷處的積瘤清理干凈再進行加工。上述方法都是為了改善排屑、排氣狀況，有助于提高加工表面質量。