電火花加工表面和機械加工的表面不同，它是由無方向性的無數小坑和硬凸邊所組成，特別有利于保存潤滑油，而機械加工表面則存在著切削或磨削刀痕，具有方向性。兩者相比，在相同的表面粗糙度和有潤滑油的情況下，電火花加工表面的潤滑性能和耐磨性能均比機械加工的表面好。

電火花加工表面粗糙度通常用微觀輪廓平面度的輪廓算術平均偏差R_a表示，也有用微觀輪廓平面度平均高度值R_z或用微觀輪廓平面度的最大高度值R_max表示的。